|
Разработка методов радиационной технологии изготовления полупроводниковых приборных структур с улучшенными характеристиками, в том числе силовых и СВЧ
|
НПО «Интеграл», ОАО «Электромодуль» (г. Молодечно).
Лаборатория радиационных воздействий
Коршунов Ф.П. |