Институт физики твердого тела и полупроводников

 

Технология ионных треков для создания электронных и электрических приборов наноразмерного масштаба.

 


Для создания наноэлектронных и электрических приборов предлагается технология скозных ионных треков, формируемых путем облучения полимерных пленок ионами высоких энергий. Треки на гибкой полимерной основе пригодны для формирования в них компонентов электронных схем. Применение такого подхода позволяет получить как отдельные наноэлектронные приборы (конденсаторы, диоды, транзисторы, сенсоры) так и массивы этих элементов с плотность 106 – 109 на см2.

Центр криогенных исследований

Демьянов С.Е.






Наверх
© Best viewed in Internet Explorer 5.0 or higher and screen resolution 800x600